1. Betöltés
Helyezze a bevont kvarctégelyt a hőcserélő asztalra, adjon hozzá szilícium nyersanyagot, majd szerelje fel a fűtőberendezést, a szigetelőberendezést és a kemence fedelét, evakuálja a kemencét, hogy a kemencében a nyomást 0,05-0,1 mbar-ra csökkentse, és fenntartsa a vákuumot. Vezessen be argont védőgázként, hogy a kemencében a nyomást alapvetően 400-600 mbar körül tartsa.
2. Fűtés
Használjon grafitfűtőt a kemencetest felmelegítéséhez, először párologtassa el a grafit részek felületén adszorbeált nedvességet, szigetelőréteget, szilícium alapanyagokat stb., majd lassan melegítse fel, hogy a kvarctégely hőmérséklete elérje az 1200-1300 fokot.℃. Ez a folyamat 4-5 órát vesz igénybe.
3. Olvadás
Vezessen be argont védőgázként, hogy a kemencében a nyomást alapvetően 400-600 mbar körül tartsa. Fokozatosan növelje a fűtési teljesítményt, hogy a tégely hőmérsékletét körülbelül 1500-ra állítsa℃, és a szilícium alapanyag olvadni kezd. Maradjon körülbelül 1500℃az olvasztási folyamat során, amíg az olvadás be nem fejeződik. Ez a folyamat körülbelül 20-22 órát vesz igénybe.
4. Kristálynövekedés
A szilícium nyersanyag megolvadása után a fűtőteljesítményt lecsökkentjük, hogy a tégely hőmérséklete körülbelül 1420-1440 °C-ra csökkenjen.℃, amely a szilícium olvadáspontja. Ezután a kvarctégely fokozatosan lefelé mozog, vagy a szigetelőeszköz fokozatosan felemelkedik, így a kvarctégely lassan elhagyja a fűtési zónát és hőcserét hoz létre a környezettel; ugyanakkor a hűtőlemezen vizet engednek át az olvadék hőmérsékletének csökkentése érdekében az aljáról, és először kristályos szilícium képződik az alján. A növekedési folyamat során a szilárd-folyadék határfelület mindig párhuzamos marad a vízszintes síkkal, amíg a kristálynövekedés be nem fejeződik. Ez a folyamat körülbelül 20-22 órát vesz igénybe.
5. Izzítás
A kristálynövekedés befejezése után a kristály alja és teteje közötti nagy hőmérsékleti gradiens miatt a tömbben termikus feszültség léphet fel, amely a szilícium ostya melegítése és az akkumulátor előkészítése során könnyen eltörhet. . Ezért a kristálynövekedés befejezése után a szilíciumöntvényt 2-4 órán keresztül az olvadáspont közelében tartják, hogy a szilícium tuskó hőmérséklete egyenletes legyen és csökkenjen a termikus feszültség.
6. Hűtés
Miután a szilícium tuskót a kemencében izzították, kapcsolja ki a fűtőteljesítményt, emelje fel a hőszigetelő eszközt vagy teljesen engedje le a szilíciumöntvényt, és engedjen be nagy mennyiségű argongázt a kemencébe, hogy fokozatosan csökkentse a szilícium tuskó hőmérsékletét a közelébe. szobahőmérséklet; ugyanakkor a kemencében a gáznyomás fokozatosan emelkedik, amíg el nem éri a légköri nyomást. Ez a folyamat körülbelül 10 órát vesz igénybe.
Feladás időpontja: 2024.09.20
